波長色散型X射線熒光光譜儀按照測角儀是否轉動可分為掃描型和同時型兩種。分析元素范圍都是從Be~U，最大功率都是4KW。

掃描型（圖2）即通過改變分光晶體和探測器的角度來獲得元素信息，只需要幾塊晶體便能實現全元素分析，根據所測元素的不同，測試時間也不同。

圖2：掃描型波長色散X射線熒光光譜儀及光路結構

同時型（圖3）將分光晶體和探測器固定在不同的位置上，可同時獲得多個元素信息。

根據所配分光晶體和探測器的個數，來確定測試元素的個數。這樣的設計，使得測試速度更快，測試精度更高。

相對而言，同時型價格更貴，測試元素數量也有限制，需要額外增加測角儀才能實現全元素的分析。

圖3：同時型波長色散X射線熒光光譜儀及光路結構

波長色散型X射線熒光光譜儀根據設備大小可分為高功率型和臺式。

高功率型（圖2、圖3）一般最大功率能到4KW，臺式（圖4）功率根據設備的不同一般有50W、200W或400W等等。

圖4 臺式波長色散型X射線熒光光譜儀

能量色散型X熒光光譜儀分類

能量色散型X射線熒光光譜儀根據設備大小可分為臺式和手持式兩大類。

臺式一般用于實驗室，測試元素范圍，精度和儀器靈敏度更高。

圖5 臺式能量色散型X射線熒光光譜儀及光路結構

手持式一般用于現場分析，功率較小，方便快捷。

圖6 手持式能量色散型X射線熒光光譜儀

臺式能量色散型X射線熒光光譜儀可分為常規型（圖5）、偏振型和毛細聚焦型。

偏振型（圖7）可以大幅度降低背景噪音，提高峰背比，降低檢出限。

圖7 偏振型能量色散型X射線熒光光譜儀及光路結構

毛細聚焦型（圖8）在能保證一定初級X射線強度下，聚焦初始X射線，光斑直徑能到幾十微米，提高初級X射線強度，降低檢出限。這兩款光譜儀價格比常規型較高。

圖8 

毛細聚焦型能量色散型X射線熒光光譜儀及光路結構