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X射線熒光光譜分析作為一種快速、簡便且無損的檢測技術，在眾多行業的元素分析領域被廣泛應用，但其儀器的名稱應該是EDS，XRF還是EDX呢？
EDS是能譜儀（Energy Dispersive Spectrometer）的英文縮寫，通常用于配合掃描電子顯微鏡，是電子束微束分析技術中應用極為廣泛的儀器。但因其英文縮寫與能量色散型X射線熒光光譜儀（EDX) 頗為相似且同樣用于材料的元素含量分析，故二者容易被混淆。
XRF是X射線熒光光譜儀（X-Ray Fluorescence Spectrometer）的英文縮寫。而EDX或（EDXRF)是X射線熒光光譜儀XRF分類中的一種。那么，XRF究竟又有哪些分類呢？
我們熟知光的能量和波長之間有一個基本的關系用如下公式表達：
E=h×C/λ
所以XRF在區分不同元素的特征光時可依據波長的不同或者能量的不同，前者稱為波長色散X熒光光譜儀（Wavelength Dispersive XRF），后者稱為能量色散X熒光光譜儀（Energy Dispersive XRF）。
圖1 WDXRF & EDXRF結構示意圖
從圖1對比可知：
WDXRF的結構復雜，造價昂貴，使用維護成本也更高
WDXRF產品與同級EDXRF相比，具有檢出限（LOD）更低、分辨率更好、精密度更高和分析時間更短的優勢
近年來，EDXRF技術和應用取得了驚人的進步，EDXRF緊湊的結構設計避免了X射線熒光的強度損失，在高性能硅漂移探測器的超高計數率和分辨率的加持下保證了ppm濃度的檢測能力
根據激發方式的不同可細分為直接激發、聚束毛細管透鏡微束和偏振光等，不同的激發方式可針對不同的應用和不同的元素提高激發效率，如圖2中將偏振光運用到XRF中可最da程度地過濾背景信號，提高峰背比，改善如熒光產額較低的輕元素的激發效果。
圖2 EDXRF的偏振光
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上照式為X射線管在分析試樣的上方，X射線由上向下照射試樣；下照式則與之相反。
上照式儀器因X射線管、檢測器等主要部件在試樣上方，樣品的破損不會污染主要部件，當然試樣離X射線管的距離需要定位或配合進樣裝置。
而下照式儀器的結構更加有利于空間的利用，對于粉末壓片、疏松粉末和液體樣品帶來的可能的污染也有防護設計加以規避。
按便攜性分類
前文提到EDXRF結構簡單，因此除了臺式，EDXRF還可針對有現場測試需求的應用場景設計得更為小巧，在保證分析性能的同時兼顧便捷性。
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按應用方向分類
XRF技術成熟，尤其EDXRF近年來發展迅速，在眾多行業的元素分析中都有成熟應用，因此業內也常以儀器的應用方向冠以名稱。
如在電子電氣行業針對ROHS的國標GB/T39560中X射線熒光光譜法就作為篩選方法，EDX1800B型EDXRF因其配備小焦點光斑和攝像頭定位功能特別適合電子電氣行業的不規則小樣品等也常被喚作RoHS 分析儀；
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